相对来说臭氧消毒机广泛性是非常大的，比较适应各种病毒以及微生物的灭杀，而且杀菌的能力强大的，与过氧乙酸相当的杀菌强度。高于其他的杀毒剂。而且速度上也比其他杀毒机有优势，一般启用一台臭氧消毒机只需要十五分钟基本上可以到达杀菌的效果，当然也要看量的多少。对于扩散性可以到达无死角杀毒的效果。而且杀毒的原料比较容易得到的，市场上比较常见。主要的是环保型的消毒机。
臭氧（O3）的消毒原理是：臭氧在常温、常压下分子结构不稳定，很快自行分解成氧气（O2）和单个氧原子（O）；后者具有很强的活性，对细菌有极强的氧化作用，臭氧氧化分解了细菌内部氧化葡萄糖所必须的酶，从而破坏其细胞膜，将它杀死，多余的氧原子则会自行重新结合成为普通氧原子（O2），不存在任何有毒残留物，故称无污染消毒剂，它不但对各种细菌（包括肝炎病毒，大肠杆菌，绿浓杆菌及杂菌等）有极强的杀灭能力，而且对杀死霉素也很有效。”